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PLR3000微米級高精度光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設備，基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。其突破性技術融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量。

PLR3000系列光纖激光干涉尺測量儀分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。

中圖光纖激光尺分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。

PLR3000光纖激光尺中圖儀器分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。

PLR3000光纖激光測量尺基于激光干涉測量原理，分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。

PLR3000多自由度激光尺測量儀分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。