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NS系列高精度薄膜臺(tái)階測量儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器，主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。在膜厚測量方面，它是利用光學(xué)干涉原理，通過測量膜層表面的臺(tái)階高度來計(jì)算出膜層的厚度，具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。

VT6000光學(xué)顯微共聚焦顯微鏡基于光學(xué)共軛共焦原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW納米級(jí)白光干涉三維測量儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

CEM3000系列國內(nèi)高分辨力臺(tái)式掃描電鏡在工業(yè)領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用價(jià)值。它用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析，標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。

CEM3000系列國產(chǎn)鎢燈絲高分辨率臺(tái)式掃描電鏡不僅擁有強(qiáng)大的抗振性能和高效的工業(yè)應(yīng)用能力，而且操作靈活和成像質(zhì)量可靠。它的抗振設(shè)計(jì)在充滿機(jī)械振動(dòng)和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山，拍攝出清晰、高分辨率的圖像。

VT6000共聚焦表面粗糙度多功能測量顯微鏡主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。