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VT6000雙重防撞共聚焦顯微鏡通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器鎢燈絲掃描電鏡SEM全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B基于復(fù)合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度。CEM3000系列臺式掃描電鏡，不僅擁有強(qiáng)大的抗振性能和高效的工業(yè)應(yīng)用能力，而且操作靈活和成像質(zhì)量可靠，在現(xiàn)代制造業(yè)中為用戶帶來突破性的檢測解決方案。

中圖儀器白光干涉光學(xué)粗糙度檢測儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

中圖儀器金屬材料掃描電鏡SEM無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外，該系列臺式電鏡也可以進(jìn)入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中，該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù)，展現(xiàn)出色的性能。

中圖儀器臺式桌面掃描電鏡儀器CEM3000全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B基于復(fù)合抗振手段，專為振動環(huán)境設(shè)計，抽氣更快（低真空僅40秒），成像更穩(wěn)定，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度。

NS系列臺階儀精密測量儀器臺階高度重復(fù)性能低于5A，Z0向測量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達(dá)亞埃米級，且垂直方向動態(tài)比率高，可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。探針物理接觸測量結(jié)果穩(wěn)定可靠，重復(fù)性好，精準(zhǔn)拿捏測量的輪廓形貌細(xì)節(jié)。