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中圖儀器SuperViewW1三維光學表面輪廓儀以白光干涉技術為原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。

SuperViewW1光學輪廓儀除了用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，還具有測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。測量速度快，不必像探頭逐點進行測量，非接觸高精密測量也不會劃傷甚至破壞工件。特別對高深寬比的溝槽結構，可以快速而準確的得到理想的測量結果。

中圖儀器光學表面3d輪廓測量儀以白光干涉技術為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器，用于表面形貌紋理，微觀結構分析，用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等領域。

?SJ5700接觸式輪廓測量儀可測量各種精密機械零件的粗糙度和輪廓形狀參數(shù)，廣泛應用于機械加工、汽車、軸承、機床、模具、精密五金、光學加工等行業(yè)。儀器依據(jù)GB/T 19600-2004、GB/T3505-2009、GB/T6062-2009、GB/T10610-2009、JJF1105-2003等國家標準及ISO5436、ISO11562國際標準制造。

SJ5700表面輪廓測量儀可測圓弧半徑、直線度、凸度、溝心距、傾斜度、垂直距離、水平距離、臺階等形狀參數(shù)。還可對各種零件表面的粗糙度進行測試；可對平面、斜面、外圓柱面、內(nèi)孔表面、深槽表面、圓弧面和球面的粗糙度進行測試，并實現(xiàn)多種參數(shù)測量。

中圖儀器3D光學輪廓儀器能夠以優(yōu)于納米級的分辨率測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、微觀幾何輪廓、平整度、曲率等，應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。