激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣，激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。
激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等。它既可以對幾十米的大量程進行精密測量，也可以對手表零件等微小運動進行精密測量，既可以對幾何量如長度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進行測量，也可以用于特殊場合，諸如半導體光刻技術的微定位和計算機存儲器上記錄槽間距的測量等等。
1、精度高
激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。即使不做細分也可達到μm 量級，細分后更可達到n m量級。
2、應用范圍廣
激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外，配上適當?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等。
3、環(huán)境適應力強
即使光強衰減 90%，仍然可以得到有效的干涉信號。由于這一特點，激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準器和坐標測量機，也可以在普通的車間內為大型的機床的刻度進行標定。
4、實時動態(tài)測速高
現(xiàn)代的激光干涉儀測速普遍達到1 m/s，有的甚至于十幾m/s，適于高速動態(tài)測量。
激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀最終擺脫了計量室的束縛，更為廣泛的應用于工業(yè)生產和科學研究中。
因此，對于激光干涉儀的研究有利于提高對該儀器的了解，以致于改進其性能，使其在計量方面有著更加廣泛的應用，具有重大意義。
更新時間：2021-06-23
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當前位置：
三坐標測量儀