激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等。它既可以對(duì)幾十米的大量程進(jìn)行精密測(cè)量，也可以對(duì)手表零件等微小運(yùn)動(dòng)進(jìn)行精密測(cè)量，既可以對(duì)幾何量如長(zhǎng)度、角度.直線(xiàn)度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測(cè)量，也可以用于特殊場(chǎng)合，諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測(cè)量等等。

    激光干涉儀的*性：

    1、精度高

    激光干涉儀以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器。即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm 量級(jí)，細(xì)分后更可達(dá)到n m量級(jí)。

    2、應(yīng)用范圍廣

    激光干涉儀除了可用于長(zhǎng)度的精密測(cè)量外，配上適當(dāng)?shù)母郊€可測(cè)量角度、直線(xiàn)度、平面度、振動(dòng)距離及速度等等。

    3、環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng)

    即使光強(qiáng)衰減 90%，仍然可以得到有效的干涉信號(hào)。由于這一特點(diǎn)，激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準(zhǔn)器和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，也可以在普通的車(chē)間內(nèi)為大型的機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。

    4、實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測(cè)速高

    現(xiàn)代的激光干涉儀測(cè)速普遍達(dá)到1 m/s，有的甚至于十幾m/s，適于高速動(dòng)態(tài)測(cè)量。

    激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀最終擺脫了計(jì)量室的束縛，更為廣泛的應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中。

    因此，對(duì)于激光干涉儀的研究有利于提高對(duì)該儀器的了解，以致于改進(jìn)其性能，使其在計(jì)量方面有著更加廣泛的應(yīng)用，具有重大意義。