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更新時間：2022-02-17
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2020年12月24日，中國儀器儀表學(xué)會“科學(xué)技術(shù)獎"頒獎儀式在杭州舉行，中圖儀器申報的“基于熱穩(wěn)頻控制的高精度多參量激光干涉儀研制與產(chǎn)業(yè)化"項目榮獲2020年中國儀器儀表學(xué)會科技進(jìn)步二等獎。
中國儀器儀表學(xué)會科學(xué)技術(shù)獎是經(jīng)國家科技部批準(zhǔn)，在國家科技獎勵主管部門注冊，經(jīng)國家科學(xué)技術(shù)獎勵工作辦公室頒證，由中國儀器儀表學(xué)會設(shè)立的面向我國儀器儀表領(lǐng)域的綜合性獎項，表彰在儀器儀表科技工作中做出突出貢獻(xiàn)的單位和個人，鼓勵自主創(chuàng)新、團(tuán)結(jié)協(xié)作，促進(jìn)科學(xué)研究、技術(shù)開發(fā)與社會發(fā)展密切結(jié)合，促進(jìn)科技成果轉(zhuǎn)化，提高我國儀器儀表的綜合實(shí)力和水平。
本項目SJ6000激光干涉儀具有完整的自主知識產(chǎn)權(quán)，穩(wěn)頻精≤0.04ppm，測量精度0.5ppm,大測量距離80米。
SJ6000激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等多幾何參量的高精密測量，用于檢測數(shù)控機(jī)床、自動化設(shè)備、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等，以及進(jìn)行數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)的精度補(bǔ)償。
SJ6000激光干涉儀滿足了我國各級計量院所、精密加工制造、先進(jìn)數(shù)控機(jī)床、精密儀器等領(lǐng)域在高精度和大量程長度測量方面的需求，提升了我國自主的精密激光測量水平和先進(jìn)計量檢定裝備的水平。
不忘鑄器初心，牢記圖強(qiáng)使命，中圖儀器持續(xù)投資研發(fā)極小和大尺寸的ODS超精密光學(xué)儀器，為3C電子、泛半導(dǎo)體業(yè)和大型裝備制造業(yè)提供自主可控的關(guān)鍵技術(shù)設(shè)備。
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